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分子真空泵結(jié)構(gòu)特點

發(fā)布時間：2012-12-20 標簽：真空泵

泵腔內(nèi)有可旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子的四周帶有溝槽并用擋板隔開。每一個溝槽就相當于一個單級分子泵，后一級的入口與前一級的出口相連。轉(zhuǎn)子與泵殼之間有 0.01mm 的間隙。氣體分子由入口進入泵腔，被轉(zhuǎn)子攜帶到出口側(cè)，經(jīng)排氣管道由前級泵抽走。牽引分子泵的優(yōu)點是起動時間短，在分子流態(tài)下有很高的壓縮比，能抽除各種氣體和蒸汽，特別適于抽除較重的氣體。但同于它自身的弱點：抽速小，密封間隙太小，工作可靠性較差，易出機械故障等，因此除特殊需要外，實際上很少應(yīng)用。曾一度被結(jié)構(gòu)和制造簡單，抽速大的擴散泵所代替。
　　就是在油擴散泵開始得到廣泛應(yīng)用的時代，人們在牽引分子泵的結(jié)構(gòu)改進方面仍然做了許多工作。如 Holweck 、 Siehbahn 、 Gondet 等先后對 Gaede 型分子泵做了許多改進，提出了很多不同結(jié)構(gòu)的新型牽引分子泵。但由于其結(jié)構(gòu)仍較復雜，抽速低，因此未能得到廣泛應(yīng)用。

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