此工藝中應用最廣泛的就是羅茨水環(huán)真空機組，這種羅茨水環(huán)真空機組在化工行業(yè)應用十分普遍，可用于抽除腐蝕性氣體和有機溶劑。
但當抽除腐蝕性氣體時，羅茨真空泵的泵體和轉子以及水環(huán)式真空泵的泵體和葉輪都必須用316L不銹鋼制成，或采用化學表面處理技術在接觸工藝氣體部位涂上一層美多斯(NEDOX)。這種涂層的特點是耐磨性好、不粘、不剝落，經過熱處理后表硬度可達HV750~1000，涂層厚度為10~15μm。當這種羅茨水環(huán)真空機組需要抽除有機溶劑時，水環(huán)式真空泵的工作液必須與被抽溶劑相兼容，機械密封需采用四氟機封，并采用工作液閉式循環(huán)系統(tǒng)。
